特長
可視画像の3D 深度合成
焦点深度が約10 倍に向上
デュアルカメラシステム（高解像度カメラ/ 広域カメラ）
明視野/ 暗視野観察に対応
最大3 種類の検出器を搭載可能（LN2 冷却MCT / 電子冷却MCT / DTGS / InGaAs）
Auto-ATR システムによりATR 測定時の圧力は任意に設定可能
微小粒子や多層膜を自動認識し測定から解析までの流れを自動化
約20,000件のライブラリを標準装備
可視画像の3D 深度合成
焦点深度が約10 倍に向上
デュアルカメラシステム（高解像度カメラ/ 広域カメラ）
明視野/ 暗視野観察に対応
最大3 種類の検出器を搭載可能（LN2 冷却MCT / 電子冷却MCT / DTGS / InGaAs）
Auto-ATR システムによりATR 測定時の圧力は任意に設定可能
微小粒子や多層膜を自動認識し測定から解析までの流れを自動化
約20,000件のライブラリを標準装備
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